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高真空存桿儀的極限真空度為10^-6mBar，為原位樣品臺提供高真空存放環(huán)境，可清潔樣品臺，避免樣品臺受到污染，尤其適用于原位樣品臺。各路存桿間相互獨立，支持隨存隨取，方便研究人員對不同樣品臺的切換，觸屏控制*多可實現(xiàn)六路樣品臺單獨存取。系統(tǒng)可實現(xiàn)真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能。

技術(shù)參數(shù)：

1)尺寸：L*W*H=465*405*385（單位：mm），以實物尺寸為準。

2)壓力范圍：0-1000mbar。

3)存桿數(shù)量：四路、六路、十二路。

4)適用電鏡樣品臺：FEI、JEOL、Hitachi（適配）。

5)適用原位反應(yīng)艙芯片：自組裝鍵合一體式芯片，加熱芯片，納流體芯片等。

6)極限真空小于等于1×10^-6 mBar，工作的壓力范圍為10^-5~10^-2mBar。

7)接口模塊含控制閥門，以在電源關(guān)閉時保持真空狀態(tài)，或在取桿時，實現(xiàn)存桿模塊氣體通入，加速樣品臺取出過程。

8)各路存桿相互獨立，存或取桿時互不影響，支持隨存隨取。