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Leica EM RES102

多功能離子減薄儀，適用于TEM，SEM以及LM的樣品制備

離子束研磨

近來(lái)，離子束研磨技術(shù)已經(jīng)被發(fā)展為非常適宜無(wú)機(jī)材料樣品分析的一項(xiàng)樣品制備技術(shù)。離子束研磨技術(shù)是利用高能量的離子束轟擊方式以去除樣品表面物質(zhì)或?qū)悠繁砻嫫鸬叫揎椬饔谩ｋx子槍?zhuān)ㄔ谝粋€(gè)高真空環(huán)境中）產(chǎn)生離子束，以一個(gè)入射角度向樣品表面轟擊 。

對(duì)于TEM樣品的離子束減薄，通常離子束以一個(gè)較低的入射角度轟擊到樣品表面，起到樣品表面拋光作用，直到將薄片樣品被研磨至電子束透明為止。

對(duì)于SEM樣品的表面修飾作用，可利用較大的入射角度進(jìn)行離子束研磨來(lái)實(shí)現(xiàn)，入射角度可達(dá)到 90°。SEM樣品制備包含樣品表面離子清潔，離子束拋光和襯度增強(qiáng)。

先進(jìn)的解決方案

Leica EM RES102 是一款先進(jìn)的離子束研磨設(shè)備，帶有兩個(gè)鞍形場(chǎng)離子源，離子束能量可調(diào)，以獲得優(yōu)良的離子研磨結(jié)果。這一款獨(dú)立的桌面型設(shè)備集TEM，SEM和LM樣品制備功能于一體，這與市面上其它設(shè)備不同。除了高能量離子研磨功能外，徠卡EM RES102 還可用于低能量很溫和的離子束研磨過(guò)程。

TEM樣品

· 單面或雙面離子束研磨適用于材料的離子束減薄過(guò)程。鞍形場(chǎng)離子源可獲得很大的電子束透明薄區(qū)。

· 程序化控制的離子入射角度變化，適用于完成特殊的樣品制備目的，例如FIB樣品清潔，以減少無(wú)定形非晶層。

SEM或LM樣品

·離子束拋光**拋光區(qū)域可達(dá)25mm。

· 離子束清潔適用于對(duì)樣品表面污染層或機(jī)械拋光后表面產(chǎn)生的涂抹層進(jìn)行清潔。

· 樣品表面襯度增強(qiáng)作用，可替代化學(xué)刻蝕作用。

· 35°斜坡切割用于制備多層樣品的截面。

· 90°斜坡切割用于制備復(fù)合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體樣品或組裝器件，這種方式可大大減少機(jī)械預(yù)加工工作量。

主要特點(diǎn)

· 一臺(tái)桌面型設(shè)備，集TEM，SEM和LM樣品制備功能于一體

· 通過(guò)局域網(wǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)離子研磨過(guò)程遠(yuǎn)程遙控

· 離子束拋光區(qū)域很大，可達(dá)25mm

· 離子研磨過(guò)程參數(shù)全電腦控制

TEM，SEM或LM樣品制備-在于您的選擇

為了支持多樣化的應(yīng)用需求，Leica EM RES102 可以裝配各種樣品臺(tái)以適用于TEM，SEM及LM樣品制備。預(yù)抽室系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)樣品快速交換，從而可有效提高樣品交換效率。

SEM

該樣品臺(tái)適用于SEM和LM樣品的離子束清潔，拋光和襯度增強(qiáng)，可在環(huán)境溫度下或LN₂制冷情況下使用。SEM樣品臺(tái)可以制備尺寸達(dá)25mm的樣品。適配器用于夾持商品化生產(chǎn)的帶有3.1mm直徑插針的SEM的樣品座。

SEM

斜坡切割樣品臺(tái)適用于切割樣品獲得縱截面（90°）或斜截面（35°），便于SEM觀察樣品內(nèi)部縱向結(jié)構(gòu)，可以在環(huán)境溫度下或LN₂制冷情況下使用。

SEM

薄片樣品臺(tái)用于夾持尺寸為5（H）×7（W）×2（D）mm樣品。該樣品臺(tái)可以很方便地被直接轉(zhuǎn)移進(jìn)SEM中，而不需要取出樣品。

TEM

TEM樣品夾用于單面或雙面離子束減薄，減薄角度可低至4°。

TEM

TEM冷凍樣品夾具與LN₂制冷裝置聯(lián)用，用于制備溫度敏感型樣品。

FIB

FIB清潔樣品臺(tái)用于清潔FIB樣品，減少表面無(wú)定形非晶層。

帶給您的好處

徠卡EM RES102 可對(duì)樣品進(jìn)行離子束減薄，清潔，截面切割，拋光以及襯度增強(qiáng)，這大大滿足了您對(duì)應(yīng)用需求的多樣化和便利性。

操作簡(jiǎn)便

· 19”觸摸屏電腦控制單元，監(jiān)控并記錄制樣過(guò)程

·內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫(kù)

·程序化制樣參數(shù)設(shè)定，加速初學(xué)者學(xué)習(xí)曲線

·幫助文件幫助初學(xué)者以及對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)

高效/節(jié)約成本

· TEM，SEM和LM應(yīng)用功能集于一體

·TEM樣品制備獲得的薄區(qū)大，有效提高了TEM樣品制備效率

·SEM樣品制備**可達(dá)25mm樣品直徑

·預(yù)抽室系統(tǒng)幫助快速交換樣品，減少等待時(shí)間，并保證了樣品室的持續(xù)高真空

·局域網(wǎng)功能方便遠(yuǎn)程操控

·LN₂樣品臺(tái)使得溫度敏感型樣品可在優(yōu)化條件下進(jìn)行離子研磨

安全

·精確的自動(dòng)終止功能，適用于光學(xué)終止或透明樣品的法拉第杯終止

·在制樣過(guò)程中可以實(shí)時(shí)存儲(chǔ)活圖像或視頻

·離子源和樣品運(yùn)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，程序化控制，因而可獲得重復(fù)性制樣結(jié)果

技術(shù)參數(shù)

離子源

傾斜角度設(shè)定（電腦控制）

樣品移動(dòng)范圍（電腦控制）

裝載樣品尺寸

冷凍裝置（選配）

· 自動(dòng)液氮制冷接觸裝置

· 自動(dòng)加熱裝置避免潮濕污染樣品

· LN₂消耗量約0.6L/h

操作控制（用戶界面）

· Windows 7操作系統(tǒng)，19英寸觸摸屏電腦控制

· 具有局域網(wǎng)遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視功能

· 內(nèi)置應(yīng)用程序庫(kù)

· 可個(gè)性化修改和存儲(chǔ)離子研磨參數(shù)，單個(gè)程序使用或組合程序序列

真空系統(tǒng)

· 無(wú)油真空系統(tǒng)，＜1×10^-5mbar，配置4段式隔膜泵和渦輪分子泵（70L/s）

· 配置預(yù)抽真空室，樣品交換時(shí)間小于1分鐘

真空檢測(cè)

· 全程范圍真空檢測(cè)，Pirani真空計(jì)檢測(cè)低真空，冷陰極檢測(cè)高真空

觀察系統(tǒng)

· 數(shù)字CMOS彩色攝像頭，帶自動(dòng)放大觀察功能，自動(dòng)光圈調(diào)整和自動(dòng)聚焦

· 可實(shí)時(shí)存儲(chǔ)圖像和錄像

· 離子束感光功能（偽彩色圖像），用于精準(zhǔn)調(diào)整離子槍對(duì)中

自動(dòng)終止離子束加工過(guò)程

· 通過(guò)時(shí)間終止

· 對(duì)于不透明樣品的光學(xué)終止

· 對(duì)于不透明和透明樣品的法拉第杯終止（選配）

電氣參數(shù)

尺寸與重量

與徠卡EM TXP 相兼容

在使用徠卡EM RES102 之前，往往需要對(duì)樣品進(jìn)行機(jī)械預(yù)加工以切割研磨拋光到盡可能接近于目標(biāo)區(qū)域。徠卡EM TXP 是一款專(zhuān)門(mén)的可對(duì)目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行精準(zhǔn)定位的表面處理設(shè)備，可對(duì)樣品進(jìn)行切割及拋光等，適合于作為如徠卡EM RES102 等設(shè)備的前期制樣工具。徠卡EM TXP 可對(duì)樣品進(jìn)行諸如切割，銑削，研磨及拋光等前處理，尤其適用于需要目標(biāo)精細(xì)定位或需對(duì)微小目標(biāo)進(jìn)行定點(diǎn)處理的高難度樣品。

徠卡EM TXP 是一款專(zhuān)門(mén)的可對(duì)目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行精準(zhǔn)定位的表面處理設(shè)備，可對(duì)樣品進(jìn)行切割及拋光等，適合于作為如徠卡EM RES102 等設(shè)備的前期制樣工具。

徠卡EM TXP/EM RES102 應(yīng)用于SEM

利用徠卡EM TXP 制樣獲得的一個(gè)金線焊點(diǎn)（如左圖）。再用徠卡EM RES102對(duì)同一個(gè)金線焊點(diǎn)做離子束拋光約30分鐘（右圖）。

LEICA EM RES102 -多功能離子減薄儀

徠卡EM TXP/EM RES102 應(yīng)用于TEM

一個(gè)封裝集成電路樣品，經(jīng)徠卡EM TXP制備成直徑3mm，厚度40μm的截面薄片樣品，被夾持在徠卡EM RES102 TEM 樣品夾中。

徠卡納米技術(shù)部-Leica Nano Technology

為透射電鏡/掃描電鏡提供樣品制備全套解決方案。徠卡納米技術(shù)部提供：超薄切片、組織處理、高壓冷凍、鍍膜、臨界點(diǎn)干燥、機(jī)械研磨拋光、離子束研磨、冷凍斷裂/復(fù)型及真空環(huán)境傳輸?shù)雀黝?lèi)技術(shù)手段，適用于TEM/SEM/FIB/LM/AFM 樣品制備。

徠卡顯微系統(tǒng)——具有強(qiáng)大全球客戶服務(wù)網(wǎng)絡(luò)的國(guó)際性公司：