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儀器介紹：
近代科學(xué)技術(shù)的許多學(xué)科對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛，因此，測得薄膜厚度和光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中，常常使用橢圓偏振法來進(jìn)行測量。這種方法測量靈敏度和精度較高，并且是非破壞性測量。他能同時(shí)測定薄膜的厚度和折射率。
本產(chǎn)品為手動方式調(diào)節(jié)儀器，測量薄膜的厚度和光學(xué)參數(shù)。清晰的展示了橢圓偏振測厚儀的各個部件的結(jié)構(gòu)功能，調(diào)節(jié)方法，使用戶可詳細(xì)的了解橢圓儀的原理結(jié)構(gòu)，并培養(yǎng)其動手操作能力。
技術(shù)指標(biāo)：
編號 | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量*小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°～90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°～180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標(biāo)*小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機(jī)重量 | 20kg |
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