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技術參數：
德國CFP 激光共聚焦顯微鏡
測量行程Z: 1000 µm
測量距離 : 4 mm 可測量拋光鏡頭
測量頻率 : max. 1000 Hz 敏感及軟質材料
分辨率 Z : 20 nm 適于反光不同的點
分辨率X Y: 1 µm 低反射率快速測量
測量角度 : approx. 90°± 25°*1
測量光源 : semiconductor laser，
660 nm， class 2*2
主要特點：
可測量拋光光學鏡頭
測量敏感及軟質材料
適于反光率不同的反光點
低反射率的材料也可快速測量
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