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Showerhead，應用于半導體集成電路制程刻蝕設備中，在晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)，作為附加電壓的電極，還作為是刻蝕氣體進入腔體的通路，是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所必需的核心部件。
技術優(yōu)勢
1.原料自制品質(zhì)可控，具有成熟的加工和清洗技術，可以滿足客戶不同的表面狀態(tài)需求。
2. 氣孔內(nèi)壁加工后無破碎層。
3.*小加工孔徑為0.2mm。
暫無數(shù)據(jù)！
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