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核心參數(shù)

誤差率：
-
分辨率：
0.3nm
重現(xiàn)性：
-
儀器原理：
其他
分散方式：
-
測量時(shí)間：
-
測量范圍：
4-16nm

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產(chǎn)品簡介

PGS/PGM 1000光譜儀憑借優(yōu)異的消像差設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)一機(jī)兩用，配合單通道探測器作為單色儀，配合CCD使用作為攝譜儀。光路由一片消像差平面光柵和一片超環(huán)面鏡組成，為紫外光譜分析優(yōu)化設(shè)計(jì)。掠入射光路設(shè)計(jì)將可探測波長拓展到軟X射線，與此同時(shí)，攝譜儀模式下焦平面垂直于出射光軸，使CCD上接受的光通量大化。

技術(shù)特點(diǎn)
    HJY的消像差平面光柵結(jié)合超環(huán)面鏡，同時(shí)兼顧高分辨率和低像差。
    在軸設(shè)計(jì)，光路易準(zhǔn)直。
    出射光直射CCD表面，光通量大。
    只需更換出射狹縫和法蘭，即可實(shí)現(xiàn)單色儀和攝譜儀之間的切換，一機(jī)兩用。
    支持超高真空10^-9mbar，可接入同步輻射裝置。
    光譜范圍覆蓋到4nm，4-16nm具有超高分辨率

典型應(yīng)用
    紫外可調(diào)濾波/光源
    激光高次諧波
    等離子體物理研究
    X射線光電子能譜
    EUV光源表征

技術(shù)指標(biāo)

三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選
54403130 (僅提供母光柵)	3600gr/mm 光柵，光譜范圍：4-16nm (77-310 eV) 出射端線色散: 0.2-0.5nm/mm 平均分辨率: 0.05nm
54402130	1800gr/mm 光柵，攝譜儀模式下光譜范圍：8-32nm(39-155eV) 或 7-32.5nm 出射端線色散：0.04-0.1nm/mm 平均分辨率：0.1nm
54401130	550gr/mm 光柵，攝譜儀模式下光譜范圍：30-125nm (10-41eV) 或26-126nm 出射端線色散：0.08-0.3nm/mm 平均分辨率：0.3nm
光學(xué)設(shè)計(jì)	HJY平面光柵加超環(huán)面鏡光路設(shè)計(jì)
焦長	1000 mm
孔徑	f/48
分辨率	低至0.02nm
波長驅(qū)動(dòng)	步進(jìn)電機(jī)，USB2.0接口
高真空	10^-6 mbar
真空泵法蘭	DN63 LF
狹縫	測微狹縫
陣列探測器法蘭	DN100CF/ICF152
可選項(xiàng):
狹縫	固定或內(nèi)置可切換狹縫
超高真空	10^-9 mbar配備DN100CF 真空泵法蘭和DN40CF真空計(jì)法蘭

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