出口直徑（mm）：
-進(jìn)口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅(qū)動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質(zhì)：
其他口徑：
-壓力：
-設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)：
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也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽極/陰極陣列來電離氣體的捕集泵。離子濺射反應(yīng)性陰極材料，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，將電離氣體轉(zhuǎn)化為固體化合物。這些化合物不再對真空系統(tǒng)的壓力產(chǎn)生影響，并被**地封存在離子泵內(nèi)。離子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范圍內(nèi)運行，氮氣抽取速度范圍為 0.2 至 1200 l/s。
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