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PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，所以這個系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。 該型號PECVD綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。
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河南創(chuàng)合管式爐箱式爐走進(jìn)安徽大學(xué)河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)室1200度箱式爐，1500度箱式爐，1200度程序控制提拉爐及1200度雙溫區(qū)管式爐總計42臺設(shè)備與本月初經(jīng)過我們工作人員的安裝和
1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的工作原理介紹？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的使用方法？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)多少錢一臺？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的說明書有嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的報價含票含運(yùn)費(fèi)嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)包安裝嗎？
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