EB/PVD – 保護(hù)（MCrAlY）和熱障涂層的電子束/物理氣相沉積(TBC)

市場對于航空航天和發(fā)電工業(yè)中使用的燃?xì)鉁u輪發(fā)動(dòng)機(jī)效率提出了越來越嚴(yán)格的要求。這是由減少化石燃料消耗和運(yùn)營成本的要求所驅(qū)動(dòng)的。提高渦輪效率的主要手段是提高發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪熱段的運(yùn)行溫度。所使用的材料必須經(jīng)受更高的溫度以及機(jī)械應(yīng)力、腐蝕、侵蝕和其它嚴(yán)苛的操作條件，同時(shí)提供*終用戶所要求的延長壽命。在這個(gè)領(lǐng)域中，涂層工藝現(xiàn)已作出了重大貢獻(xiàn)。

                                         真空渦輪葉片涂層EB/PVD生產(chǎn)系統(tǒng)，SL XXL型

ALD的量產(chǎn)EB/PVD系統(tǒng)配備有一個(gè)中央涂層室，其中包含兩個(gè)電子束槍和一個(gè)氧化鋯陶瓷儲(chǔ)層，這將允許執(zhí)行數(shù)天的涂層工藝操作。EB將產(chǎn)生均勻的蒸氣云，其中部分可以旋轉(zhuǎn)、傾斜或兩者同時(shí)進(jìn)行，以匹配部分幾何形狀和指定的涂層厚度分布要求。

兩層涂層系統(tǒng)，例如CMAS保護(hù)和低k應(yīng)用，可以通過集成的鑄錠平移機(jī)（ITM）來實(shí)現(xiàn)，這允許在一次涂層運(yùn)行中沉積兩種不同的材料。

高性能電子束蒸發(fā)金屬和陶瓷。鍵合、擴(kuò)散和熱障涂層可以在具有高沉積速度的分步工藝n中產(chǎn)生。

EB/PVD工藝將產(chǎn)生具有受控厚度分布的熱障涂層，具有優(yōu)異的樹枝狀結(jié)構(gòu)、牢固的錨根和光滑的表面性能。TBC涂層將吸收高的熱應(yīng)力并提高渦輪工作溫度，從而實(shí)現(xiàn)了降低燃料消耗、提高效率和延長渦輪壽命的預(yù)期效益。

基本設(shè)計(jì)（SL XXL）包括涂層室、加熱室和加載/卸載室。

模塊化設(shè)計(jì)允許進(jìn)一步擴(kuò)展：例如：可以改裝到2個(gè)進(jìn)料器的涂裝機(jī)（DL XXL）。

ALD提供40年的經(jīng)驗(yàn)和幾十個(gè)參考的涂層系統(tǒng)葉片和導(dǎo)向葉片。

4個(gè)進(jìn)料器的涂裝機(jī)（DTL XXL）能夠連續(xù)批量生產(chǎn)渦輪部件，具有較高的產(chǎn)量和效率。