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            小型PECVD管式爐系統(tǒng)
            小型PECVD管式爐系統(tǒng)

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            面議

            型號

            OTF-1200X-50S-PE

            品牌

            科晶

            產(chǎn)地

            安徽

            樣本

            暫無
            合肥科晶材料技術(shù)有限公司

            會員

            |

            第5年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實

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            小型PECVD管式爐系統(tǒng)

            • 型號:

            • OTF-1200X-50S-PE

            • 產(chǎn)品概述:

            • OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)(PECVD)。該設(shè)備配有等離子射頻電源,開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及一個直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng),且設(shè)備性價較為理想。

            設(shè)備名稱

            小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE (2019.12.23—科晶實驗室審核)

            產(chǎn)品提示

            1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

            產(chǎn)品特點

            ? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實驗溫度;

            ? 整套設(shè)備尺寸小巧;

            ? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量;

            ? 可通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。

            加熱爐參數(shù)

            ? **溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

            ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

            ? 輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW;

            ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命。


            圖片1.jpg    溫控儀表.JPG



            更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

            射頻電源

            ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。


            300W射頻電源500W射頻電源100W射頻電源輸出功率0-300W可調(diào)(穩(wěn)定性:±1%)0-500W可調(diào)(穩(wěn)定性:±1%)0-100W可調(diào)(穩(wěn)定性:±1%)射頻頻率13.56 MHz(穩(wěn)定性:±0.5%)13.56 MHz(穩(wěn)定性:±0.5%)13.56 MHz(穩(wěn)定性:±0.5%)匹配自動匹配自動匹配手動匹配噪音<50dB<50dB<50dB冷卻方式風(fēng)冷風(fēng)冷風(fēng)冷輸入電壓AC180-250VAC108-250VAC110-240V圖片  
            真空系統(tǒng)

            ? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

            ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

            ? 真空度可達(dá)10-2Torr。


            圖片5.jpg

            供氣系統(tǒng)

            ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

            ? 流量范圍:


            一路0-100 sccm二路0-200 sccm三路0-200 sccm四路0-500 sccm


            ? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

            ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

            ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出;

            ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


            圖片6.jpg      圖片7.jpg

            產(chǎn)品尺寸和重量

            ? 尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H

            ? 凈重:75 kg 

            認(rèn)證

            ? CE認(rèn)證

            ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

            ? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


            圖片1.png

            承諾

            ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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