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ISO-KF型式3位置真空蝶閥
ISO-F型式3位置真空蝶閥
Htc日揚真空三位置真空蝶閥由旋轉(zhuǎn)氣缸閥驅(qū)動，具有三位置功能，安裝方便，體積小，壽命長，產(chǎn)品出廠全部用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測。三位置真空蝶閥開度可設(shè)定為0-90°，主要應(yīng)用是在高真空環(huán)境設(shè)備系統(tǒng)過程中完全隔離污染和腐蝕性氣體。
真空蝶閥位于真空泵和真空腔體處理室之間，可以控制設(shè)置第3位置以改變電導(dǎo)。
主應(yīng)用
緊湊型隔離閥板，用于高傳導(dǎo)清潔過程。
有第三個位置來改變電導(dǎo)，一個蝶閥擁有兩個真空碟閥功能。
應(yīng)用制程產(chǎn)業(yè)
FPD 平面顯示器
SEMI 半導(dǎo)體
PVD 物理氣相沉積
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