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            1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)
            1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            參考價(jià)格

            5-10萬(wàn)元

            型號(hào)

            YHGS-I

            品牌

            上海煜志

            產(chǎn)地

            上海

            樣本

            暫無(wú)
            杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司

            金牌會(huì)員

            |

            第9年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            簡(jiǎn)介 

            1200℃加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長(zhǎng)雙溫區(qū)管式實(shí)驗(yàn)電爐,多通道高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng),高真空分子泵系統(tǒng)等組成??蓪?shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系,使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

            主要技術(shù)參數(shù)

            爐體結(jié)構(gòu)

            整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu)

            日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

            雙層殼體結(jié)構(gòu),內(nèi)置風(fēng)冷層,有效降低外殼表面溫度

            爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

            電源

            電壓:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

            爐管

            高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極??;

            尺寸:Φ60/80/100*1200mm

            法蘭及支撐

            SUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

            一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

            可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

            包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

             

            加熱系統(tǒng)

            加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用;

            加熱區(qū)長(zhǎng)度:350mm*2;

            恒溫區(qū)長(zhǎng)度:450mm; 

            工作溫度:≤1150℃; 

            **溫度:1200℃;

            升溫速率:推薦≤10℃/min;

            *快升溫速度30℃/min.

            溫控系統(tǒng)

            日本富士?jī)x表,64段控溫程序,可分步、分段; 

            測(cè)溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ 

            混氣系統(tǒng)

            三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

            內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

            管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

            每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

            通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量

            流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

            法蘭上預(yù)留一路浮子流量計(jì),流量規(guī)格0.3-3L/min

            真空系統(tǒng)

            采用雙極旋片真空泵+分子泵,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa

            復(fù)合真空計(jì)顯示,配置電阻規(guī)+電離規(guī)

            抽速:110L/s,風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu)

            配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥

            可選配件

            冷水機(jī),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件等

            保修期

            整機(jī)一年保修(相關(guān)耗材除外)


            可根據(jù)客戶要求定制!


            特色與優(yōu)勢(shì)

            1.加長(zhǎng)雙溫區(qū)爐體,大大加長(zhǎng)了實(shí)驗(yàn)區(qū)域的溫度均勻性;

            2.開(kāi)啟式爐蓋設(shè)置,降低沉積溫度、加快沉積速度;

            3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質(zhì)量流量計(jì),數(shù)字顯示精確控制氣體流量;

            4.雙極旋片真空泵+分子泵,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa;

            5.配置一路浮子流量計(jì)及三路高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng),可滿足不同氣氛下的實(shí)驗(yàn)要求;

            6.內(nèi)置S型熱電偶,可快速、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)物料的溫度變化情況;

            7.尾氣活性炭過(guò)濾處理,減少反應(yīng)氣體排放對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的影響。

            創(chuàng)新點(diǎn)

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            產(chǎn)品質(zhì)量

            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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