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等離子反應(yīng)器是以等離子處理設(shè)備為基礎(chǔ)，通過改造創(chuàng)新，從而達(dá)到實(shí)驗(yàn)要求。儀器主要包括等離子體處理設(shè)備和反應(yīng)腔兩部分。在等離子體處理設(shè)備的基礎(chǔ)上加入反應(yīng)腔體部分，通入惰性氣體或者反應(yīng)氣體達(dá)到所需的反應(yīng)氛圍。在達(dá)到的范圍內(nèi)，在進(jìn)行等離子體處理以達(dá)到所需的要求。相比于傳統(tǒng)的反應(yīng)器類型，等離子體反應(yīng)器具有高效，快捷，無污染等優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，并能提供不同的反應(yīng)氣體氛圍，以便各種實(shí)驗(yàn)所需。相比于傳統(tǒng)的反應(yīng)器類型，等離子體反應(yīng)器具有高效，快捷，無污染等優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，并能提供不同的反應(yīng)氣體氛圍，以便各種實(shí)驗(yàn)所需。
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產(chǎn)品型號(hào)及參數(shù)
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